Продается установка для нанесения покрытия НИТРИД ТИТАНА

Установка №1

Цена — договорная.

Возможности установки:

  • Напыление на листы максимальным размером 2500×1250 мм, толщиной до 3 мм
  • Есть возможность регулировать цветовую гамму. Золото, медь, бронза, синий, зеленый и т.д.
  • Производительность 6 циклов за рабочую смену (1 цикл — 2 листа)

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

1.1.        Назначение.

1.1.1.     Настоящее техническое описание распространяется на установку вакуумного напыления плёнок методом магнетронного распыления исходной мишени в среде инертных и реактивных газов с предварительной ионной очисткой поверхности подложек в вакууме. Установка циклического действия предназначена для отработки технологии напыления и серийного производства.

1.1.2.     Установка рассчитана на эксплуатацию в стационарных условиях в помещениях категории ”Д” по противопожарным требованиям «Строительных норм и правил», с атмосферой типа «П по ГОСТ 15150-69 при температуре окружающей среды от 10 до 35°С.

1.1.3. Установка изготавливается в климатическом исполнении УХЛ, категории 4 по Г0СТ15150-69.

1.2.        Технические данные.

1.2.1. Габаритные размеры и вес установки: -вакуумная камера с выкатным устройством

  • длина (с выкатным устройством)         7500      мм
  • ширина                                                              3050      мм
  • высота                                                                3000      мм
  • масса                                                                   5900      кг
  • стойка управления 1: длина 500 мм, ширина 620 мм, высота 1760 мм, масса 150 кг
  • стойка управления 2: длина 700 мм, ширина 610 мм, высота 1900 мм, масса 270   кг
  • блок питания БШ-25: длина 580 мм, ширина 560 мм, высота 1250 мм, масса 230 кг,
  • блок смещения:  длина 800 мм, ширина 600 мм, высота 800 мм, масса 110 кг
  • блок питания ВДУ: длина 700 мм, ширина 600 мм,  высота 1000 мм, масса 250кг

2. 2. Питание установки осуществляется

  • трёхфазным переменным током от четырёхпроводной линии (с нуле­вым проводом) частотой 50 Гц, напряжением 380В+10%; максималь­ная электрическая мощность потребляемая установкой не более 100 кВт.
  • холодной водопроводной водой с температурой 10-15°С, дав­лением 3-4 атм. и расходом 7,0 м3/ч.
  • сжатым воздухом, давлением 5 атм. и расходом 0,05 м3/ч.

 

2. 3. Основные рабочие параметры

  1. Предельно-достижимое разрежение в рабочей камере — 6*10 мм. рт. ст
  2. Время достижения давления 4,5*10 мм. рт. ст. в рабочей камере — 18 мин
  3. Время достижения давления 6*10 мм. рт. ст. в рабочей камере (с момента открытия высоко-вакуумных затворов) — 30 мин
  4. : Размер рабочей камеры Н=2200мм В-1000мм Д=3125мм
  5. Объем рабочей камеры V=7,74 М
  6. Возможность работы установки в режимах
  • автоматический      есть
  • ручной                      есть
  • наладочный             есть
  1. Число источников напыления — 2
  2. Питание источников напыления :
  • максимальная мощность                    25 квт
  • максимальная величина тока            40
  • регулировка                                           плавная
  1. Число источников ионной очистки- 2
  2. Питание источников ионной очистки:
  • максимальная мощность                    3 квт
  • максимальная величина тока            1 А
  • регулировка                                          плавная
  1. Число нагревателей 1
  2. Питание нагревателя:
  • максимальная мощность                     25 квт
  • максимальная величина тока             500 А
  • регулировка                                           плавная
  1. Смещение нагревателя:
  • максимальная мощность                     5 квт
  • максимальное напряжение                 200 В
  • максимальная величина тока             25 А
  • регулировка                                           плавная
  1. Максимальная величина подложки 1,6*2,4 м
  2. Количество одновременно загружаемых подложек максимального размера- 2
  3. Максимальная величина температуры подложки — 300 с
  4. Скорость перемещения каретки с источниками
  • максимальная                                         29 мм/с
  • минимальная                                                мм/с
  • регулировка                                            плавная

18           Длина хода каретки   2900 мм

УСТАНОВКА №2

ustanovka2-1 ustanovka2-2 ustanovka2-3 ustanovka2-4

Цена договорная

Назначение
1. Установка предназначена для двухстороннего нанесения, методом магнеторного распыления двух различных немагнитных металлов на слюду
2. Установка может применяться автономно и в составе комплекса оборудования для производства слюдяных конденсаторов
3. Установка изготовлена в климатическом исполнении УХЛ 4,2 ГОСТ 15150-69.
4. Питание установки от трехфазной четырехпроводной с нулевым проводом сети переменного тока напряжением 330/220 В, частоты 50 Гц.
5. Установка обеспечивает работу

  • при подаче воды водопроводной холодной под давлением 0.3 МПа (3 кгс/см2 ), ГОСТ 2874-73, расходом не менее 8000 л/ч (130 л/мин);
  • воды горячей давлением 0.3 МПа (З кгс/см2) расходом не менее 4000 л/ч (65 л/мин);
  • сжатого воздуха кл.74 ГОСТ 17423-80 под давлением 0.5 МПа (5 кгс/cм2), расходом не менее 1.1 мЗ/ч (0,3 л/c);
  • аргона газообразного высшего сорта ГОСТ 10157-79 из баллонов или централизованной сети под давлением 0.1-0.15 МПа (1-1.5 кгс/см2) расходом не менее 20 л/ч.

6.Для эксплуатации необходимы:

  • система вытяжной вентиляции с расходом не менее 220 мЗ/ч для подсоединения выхлопных патрубков вакуумных механических насосов;
  • шкафа для баллона с газом;
  • слив общий, пропускной способностью не менее 24000 л/ч;
  • заземляющего устройства с сопротивлением не более 40 м.

7.  установке на месте ее эксплуатации необходима площадь не менее 45 м2

    Основные технические данные и характеристики
1. Установка изготовлена в соответствии И4.083.0049 ТУ
2.  Габаритные размеры:

  • длина — 8500 мм;
  • ширина — 5300 мм;
  • высота — 2800 мм.

3. Масса 20000 кг.
4.  Производительность кинематическая при    времени напыления не более-З мин, не менее 20 м2/ч,
5. Максимальные размеры кассеты — 1250 х 1250х 30мм
6. Неравномерность по толщине напыляемой пленки по площади 1250 х 1250 мм, не хуже +-7 % от     номинального значения.
7. Скорость перемещения кассеты в камере напыления плавно регулируемая в пределах 0,15 :1.5 м/мин
8. Число проходов кассеты через магнетронную систему ионного напыления, (МСИР) вавтоматическом режиме — в соответствии с заложенным в программу АСУ «Орион-3».
9.  Предельное остаточное в шлюзовой камере при неработающих механизмах (неподвижных выводах движения) = 2:3 Па (1.5- 2.10 мм рт.ст.).
10. Рабочее давление в шлюзе 4:4.6 Па (3-3,5. 10-2 мм рт.ст)
11.  Предельное остаточное давление в камере напыления при неработающих механизмах ( неподвижных вводах движения) — 2,6*10-3 Па (2.10 -5 мм рт.ст)
12., Рабочее давление аргона в камере напыления 0.5-0.9    Па (4:7*10-3 мм рт.ст)
13. Отклонение рабочего давления аргона в камере напыления от заданной величины не более +- 5%
14. Напряжение источника питания магнетрона регулируемое
в пределах 200 +- 800 В
15.  Максимальный ток источника питания магнетрона — 120 А.
16. Напряжение источника питания электромагнитов — регулируемое в пределах 2:-12 В.
17. Максимальный ток источника питания электромагнитов 600 А при напряжении не более 12 В.
18. Величина магнитного поля в зоне эрозии мишени не менее 0,06 Тл
19. Температура в зоне нагрева кассеты в пределах 150-2000 C
20. Время непрерывной работы в рабочем режиме не менее 7 ч.    Перерыв между включениями не менее 2 ч,
21.  Максимальная электрическая мощность, потребляемая магнетронами не более 192. кВт.
22. Электрическая мощность, потребляемая установкой при распылении меди и алюминия не более 150 кВА.

Комментарии недоступны