Продается установка для нанесения покрытия НИТРИД ТИТАНА

Цена — договорная.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

1.1.        Назначение.

1.1.1.     Настоящее техническое описание распространяется на установку вакуумного напыления плёнок методом магнетронного распыления исходной мишени в среде инертных и реактивных газов с предварительной ионной очисткой поверхности подложек в вакууме. Установка циклического действия предназначена для отработки технологии напыления и серийного производства.

1.1.2.     Установка рассчитана на эксплуатацию в стационарных условиях в помещениях категории ”Д” по противопожарным требованиям «Строительных норм и правил», с атмосферой типа «П по ГОСТ 15150-69 при температуре окружающей среды от 10 до 35°С.

1.1.3. Установка изготавливается в климатическом исполнении УХЛ, категории 4 по Г0СТ15150-69.

1.2.        Технические данные.

1.2.1. Габаритные размеры и вес установки: -вакуумная камера с выкатным устройством

  • длина (с выкатным устройством)         7500      мм
  • ширина                                                              3050      мм
  • высота                                                                3000      мм
  • масса                                                                   5900      кг
  • стойка управления 1: длина 500 мм, ширина 620 мм, высота 1760 мм, масса 150 кг
  • стойка управления 2: длина 700 мм, ширина 610 мм, высота 1900 мм, масса 270   кг
  • блок питания БШ-25: длина 580 мм, ширина 560 мм, высота 1250 мм, масса 230 кг,
  • блок смещения:  длина 800 мм, ширина 600 мм, высота 800 мм, масса 110 кг
  • блок питания ВДУ: длина 700 мм, ширина 600 мм,  высота 1000 мм, масса 250кг

2. 2. Питание установки осуществляется

  • трёхфазным переменным током от четырёхпроводной линии (с нуле­вым проводом) частотой 50 Гц, напряжением 380В+10%; максималь­ная электрическая мощность потребляемая установкой не более 100 кВт.
  • холодной водопроводной водой с температурой 10-15°С, дав­лением 3-4 атм. и расходом 7,0 м3/ч.
  • сжатым воздухом, давлением 5 атм. и расходом 0,05 м3/ч.

 

2. 3. Основные рабочие параметры

  1. Предельно-достижимое разрежение в рабочей камере — 6*10 мм. рт. ст
  2. Время достижения давления 4,5*10 мм. рт. ст. в рабочей камере — 18 мин
  3. Время достижения давления 6*10 мм. рт. ст. в рабочей камере (с момента открытия высоко-вакуумных затворов) — 30 мин
  4. : Размер рабочей камеры Н=2200мм В-1000мм Д=3125мм
  5. Объем рабочей камеры V=7,74 М
  6. Возможность работы установки в режимах
  • автоматический      есть
  • ручной                      есть
  • наладочный             есть
  1. Число источников напыления — 2
  2. Питание источников напыления :
  • максимальная мощность                    25 квт
  • максимальная величина тока            40
  • регулировка                                           плавная
  1. Число источников ионной очистки- 2
  2. Питание источников ионной очистки:
  • максимальная мощность                    3 квт
  • максимальная величина тока            1 А
  • регулировка                                          плавная
  1. Число нагревателей 1
  2. Питание нагревателя:
  • максимальная мощность                     25 квт
  • максимальная величина тока             500 А
  • регулировка                                           плавная
  1. Смещение нагревателя:
  • максимальная мощность                     5 квт
  • максимальное напряжение                 200 В
  • максимальная величина тока             25 А
  • регулировка                                           плавная
  1. Максимальная величина подложки 1,6*2,4 м
  2. Количество одновременно загружаемых подложек максимального размера- 2
  3. Максимальная величина температуры подложки — 300 с
  4. Скорость перемещения каретки с источниками
  • максимальная                                         29 мм/с
  • минимальная                                                мм/с
  • регулировка                                            плавная

18           Длина хода каретки   2900 мм

Комментарии недоступны